在真空术语里有关于电弧、电弧管理、CO2 激光、CVD化学气相沉积、掺杂、晶体外延生长、半导体、感应加热、感应器、离子植入、同轴电缆、同轴变压器、电容器、匹配箱、磁控溅镀、低温等离子体、等离子体激活、等离子体聚合、等离子体热处理、高温计等概念解释。
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